연세대학교 공동기기원 - Yonsei University

• 직접사용 전용장비입니다. 분석의뢰는 7800장비로 예약해 주시기 바랍니다.

[기기 특성]

• 낮은 가속전압에서 높은 probe current
• 높은 beam 안정도
• 넓은 시료 예비교환실 : Airlock Chamber
• 간단한 시료교환 : One Action Mechanism
• Network를 이용한 조작 가능 

Performance

1. Resolution
   • 1.2nm guaranteed at 30 kV or better
   • 3.0nm guaranteed at 1kV or better
   • 3.0nm guaranteed at 15kV or better (PC 5nA, WD 10mm)
2. Magnification : 10(WD 40mm) to 1,000,000X
3. Image modes : SEI, BEI
4. Accelerating voltage : 0.5 to 30 kV or wider
5. Probe current : 1 x 10-12 to 2 x 10-7 A

Electron Gun

1. Type : Schottky type field emission gun

Specimen stage

1. Type : Fully eucentric goniometer Stage
2. Movements
   • Computer controlled 5-axis motor drive stage
   • X direction : 70mm
   • Y direction : 50mm
   • Z direction : 3 to 41 mm
   • Tilt : -5˚ to + 70˚
   • Rotation : 360 deg endless (Motor driven)
3. Specimen exchange : Airlock type

• 나노구조의 소재 및 소자 구조 분석과 이미징
• 고해상도를 요구하는 재료의 상관찰, 화학조성 분석
• 나노바이오 및 박막재료 등 국부 영역의 상관찰

시료 크기 최대 10mm이하이며 수분, 용매 및 기타 기화될 수 있는 물질을 제거하여 주시기 바랍니다.

[유저사용]

• 반드시 사용자 본인 이름으로 예약
• User가 아니신 분은 예약 불가
• 최소 30분 최대 3시간까지 30분 단위 예약

[서비스 의뢰]

• 예약일로부터 3일 이내에 취소하는 경우, 장비 사용금액의 100%를 지불.
• 홈페이지 예약시 날짜, 시간 꼭 확인해 주세요.
  ※ 메일 또는 전화로 알려드리지 않습니다.

※패널티 적용※

• 장비 사용예약시간 이후로도 예약 없이 사용을 계속하는 경우, 패널티를 적용하여 사용에 제한
• 본인 사용또는 서비스 의뢰로 장비 사용 예약 후, 예약일로부터 3일 이내에 취소하는경우 장비 사용금액의 100%를 지불
• 기기 사용중 본인 부주의로 인한 고장발생 시, 수리비 전액 부담
• 기기 사용료미납 시 기기 사용 제한