- 직접사용 전용장비입니다. 분석의뢰는 7800 및 IT-800 장비로 예약해 주시기 바랍니다.
[기기 특성]
- 낮은 가속전압에서 높은 probe current
- 높은 beam 안정도
- 넓은 시료 예비교환실 : Airlock Chamber
- 간단한 시료교환 : One Action Mechanism
- Network를 이용한 조작 가능
* 직접 사용 유저 교육 문의 : 안유진 (badakajok@yonsei.ac.kr)
Performance
- Resolution
- 1.2nm guaranteed at 30 kV or better
- 3.0nm guaranteed at 1kV or better
- 3.0nm guaranteed at 15kV or better (PC 5nA, WD 10mm)
- Magnification : 10(WD 40mm) to 1,000,000X
- Image modes : SEI, BEI
- Accelerating voltage : 0.5 to 30 kV or wider
- Probe current : 1 x 10-12 to 2 x 10-7 A
Electron Gun
- Type : Schottky type field emission gun
Specimen stage
- Type : Fully eucentric goniometer Stage
- Movements
- Computer controlled 5-axis motor drive stage
- X direction : 70mm
- Y direction : 50mm
- Z direction : 3 to 41 mm
- Tilt : -5˚ to + 70˚
- Rotation : 360 deg endless (Motor driven)
- Specimen exchange : Airlock type
- 나노구조의 소재 및 소자 구조 분석과 이미징
- 고해상도를 요구하는 재료의 상관찰, 화학조성 분석
- 나노바이오 및 박막재료 등 국부 영역의 상관찰
시료 크기 최대 10mm이하이며 수분, 용매 및 기타 기화될 수 있는 물질을 제거하여 주시기 바랍니다.
장비에 대한 요금 정보를 보여주는 테이블
구분 |
실험/옵션명 |
적용일 |
기준 |
교내교수 |
교내학생 |
교외교수 |
교외학생 |
업체(연구소) |
실험 (분석의뢰(시간)) |
FE-SEM(7001F)_서비스시간 |
2022-10-26 |
30분 |
35,000원 |
35,000원 |
45,000원 |
45,000원 |
45,000원 |
실험 (직접사용) |
FE-SEM(7001F)_직접사용 |
2022-10-26 |
30분 |
20,000원 |
20,000원 |
25,000원 |
25,000원 |
25,000원 |
옵션 |
EDS-Linescan(시료당) |
2022-10-26 |
1개 |
25,000원 |
25,000원 |
25,000원 |
25,000원 |
25,000원 |
옵션 |
EDS-Mapping(시료당) |
2022-10-26 |
1개 |
25,000원 |
25,000원 |
25,000원 |
25,000원 |
25,000원 |
옵션 |
EDS-point분석(시료당) |
2022-10-26 |
1개 |
15,000원 |
15,000원 |
15,000원 |
15,000원 |
15,000원 |
[유저사용]
- 반드시 사용자 본인 이름으로 예약
- User가 아니신 분은 예약 불가
- 최소 30분 최대 3시간까지 30분 단위 예약
[서비스 의뢰]
- 예약일로부터 3일 이내에 취소하는 경우, 장비 사용금액의 100%를 지불.
- 홈페이지 예약시 날짜, 시간 꼭 확인해 주세요.
※ 메일 또는 전화로 알려드리지 않습니다.
※패널티 적용※
- 장비 사용예약시간 이후로도 예약 없이 사용을 계속하는 경우, 패널티를 적용하여 사용에 제한
- 본인 사용또는 서비스 의뢰로 장비 사용 예약 후, 예약일로부터 3일 이내에 취소하는경우 장비 사용금액의 100%를 지불
- 기기 사용중 본인 부주의로 인한 고장발생 시, 수리비 전액 부담
- 기기 사용료미납 시 기기 사용 제한