연세대학교 공동기기원 - Yonsei University

[기기 특성]

• High resolution : 1nm(15kV), 2.2nm(1kV)
• Analysis 작업을 위한 High probe currnet에서의 High resolution
• 전자동식의 전자광학계
• 별도의 Aperture size조정 없이 최대 2nA의 Probe current구현가능
• 최대 직경 200mm의 시료Chamber
• 안정되고 넓은 Motor control eucentric specimenstage
• 넓은 시료 예비교환실 : Airlock Chamber
• 간단한 시료교환 : One Action Mechanism
• Network를 이용한 조작 가능 

Performance

1. Resolution
   • 1.0nm guaranteed at 15 kV or better
   • 2.2nm guaranteed at 1kV or better
2. Magnification
   • 25 to 650,000X or wider
   • Magnification preset : Any magnification should be preset for each of the above modes as a fixed magnification.
3. Image modes : SEI, BEI
4. Accelerating voltage : 0.5 to 30 kV or wider
5. Probe current : 1 x10-13 to 2 x 10-9 A or wider

Electron Gun

1. Type : Field emission gun with cold cathode

Specimen stage

1. Type : Fully eucentric goniometer Stage
2. Movements
   • Computer controlled 3-axis motor drive stage
   • X direction : 70mm or larger
   • Y direction : 50mm or larger
   • Z direction : 1.5 ~25mm or wider
   • Tilt : -5˚ to+ 60˚or wider
   • Rotation : 360 deg endless (Motor driven)
3. Specimen exchange : Airlock type

• 나노구조의 소재 및 소자 구조 분석과 이미징
• 고해상도를 요구하는 재료의 상관찰, 화학조성 분석
• 나노바이오 및 박막재료 등 국부 영역의 상관찰

시료 크기 최대 10mm이하이며 수분, 용매 및 기타 기화될 수 있는 물질을 제거하여 주시기 바랍니다.

[유저사용]

• 반드시 사용자 본인 이름으로 예약
• User가 아니신 분은 예약 불가
• 장비의 안정화를 위해서 오후 11시 이후 예약 금지
• 최소 1시간, 30분 단위 예약
• 장비 사용 시 반드시 승인을 받은 후 사용

[패널티 적용]

• 장비 사용예약시간 이후로도 예약 없이 사용을 계속하는 경우, 패널티를 적용하여 사용에 제한
• 본인 사용또는 서비스 의뢰로 장비 사용 예약 후, 예약일로부터 2일 이내에 취소하는경우 장비 사용금액의 100%를 지불
• 기기 사용중 본인 부주의로 인한 고장발생 시, 수리비 전액 부담
• 기기 사용료미납 시 기기 사용 제한 [EDS 분석 의뢰]
• 공동기기원에서 운영되고 있는 JSM-7800F, JSM-7610F장비에서 분석 가능 

** 2016/07/25 이후 서비스의뢰 중단 / 직접사용 예약만 가능