연세대학교 공동기기원 - Yonsei University

• XPS는 고체 시료의 표면에 특성 X-선을 입사하여 방출되는 광전자의 운동에너지를 측정함으로써 시료 표면층에 존재하는 원소의 종류와  검출된 원소의 조성비 및 화학적 결합상태를 알 수 있음.

 ‘Surface’, ‘depth’, ‘AR-XPS’ , ‘In-situ’  분석 중에서 측정 목적에 맞게 선택하여 예약해주세요.

1. Surface analysis

• 시료 표면으로부터 대략 5 nm 이내의 영역에 대한 분석.
• Sputter cleaning (Ar ion beam)으로 시료 표면 에칭 후 분석 가능.

        2. Angle resolves XPS (AR-XPS)

• 대략 5 nm 미만의 표면에서 각도를 바꿔 실험함으로써 비파괴적으로 Depth Profile (깊이방향 분석)을 할 수 있음.

       3. Depth Profile

• Ar ion etching으로 시료 표면 에칭 후 분석하는 과정을 원하는 횟수만큼 반복하면서 수 십~수 백 nm정도의 깊이방향 분석 .

       4. In-situ (Vacuum Transfer Module)

• Vacuum Transfer Module을 이용하여 글로브박스에서 시료를 로딩하여 시료를 공기중에 노출시키지않고 surface 또는 depth 분석이 가능.

 Detph 분석시 유의사항

scan mode와 snap mode로 측정할 수 있는데, 측정 사양 및 분석료 차이를 아래에서 확인해보시고 측정 모드를 선택하시어 예약 바랍니다.

< scan mode (high resolution) : chemical state 분석이 중요하고 etching 횟수가 적을 경우 추천 >

• pass energy : 20 eV or 40 eV 등 선택 가능.
• energy resolution이 0.5 eV 정도로 snap mode (1 eV 이상)보다 좋음 -> data fitting 및 chemical state분석에 용이함
• 측정 시간 : 오래걸림, etching 하고 측정 한번 할때 마다 1시간 내외 소요 (예 : 10번 에칭 할 경우 시료당 10시간 내외(원소의 개수에 따라 상이함))
• 분석료 : 측정한 시간 (60분 당) x surface 분석료 (교내: 50,000원, 타대학:85,000원, 교외:100,000원)

< snap mode : 조성비 분석이 중요하고 etching 횟수가 많을 경우 추천 >

• pass energy : 100 eV 이상, energy resolution이 1eV 이상으로 scan mode보다 좋지 않음 -> data fitting 및 chemical state분석이 가능하지만 FWHM 값이 scan mode보다 큼 (peak이 더 broad함).
• 측정 시간 : 짧게걸림, etching 하고 측정 한번(1 level) 할 때 마다 10분 내외 소요. (최대 : 60번 depth 할 경우, 시료당 6~8시간 내외 소요)
• 분석료 : 측정 시료수 x depth 분석료 (교내:150,000원, 타대학:255,000원, 교외:300,000원)

• X-ray photoelectron spectroscopy (XPS)
• X-ray source : monochromated AI Kα
• Ultimate energy resolution <= 0.50eV, FWHM : Ag3d intensity curve
• Spot size : 30㎛ to 400㎛
• 180º spherical sector analyser
• Multi-channel detector
• Charge compensation with new Flood gun
• Ion source energy : 100 eV to 3keV
• Angle resolved XPS : 0-70º (tilt angle)
• XPS image : Ultimate spatial resolution <= 30㎛

비파괴적 표면 분석법으로 코팅, 도금과 같은 표면처리분야, 반도체분야, 촉매분야 등 다양한 고체시료 표면 물성 분석에 활용

• 초고진공 분석 장비이므로 고체시료를 완전 건조하여 outgassing이 없도록 준비 부탁드립니다.
• 박막 시료 사이즈는 2~10 mm x 2~10 mm x 10 nm~4 mm (가로, 세로, 높이) 정도로 준비해주세요.
  * 더 큰 사이즈도 측정 가능하지만, 시료 홀더를 개조해야해서 소요시간이 걸림.
• 파우더 시료는 표면 분석시 : 지름 5 mm 정도의 실험용 스푼으로 1스푼 이상,  표면클리닝 시 : 3스푼 이상 완전 건조하여 준비해주세요.
• 시료가 도착하면, 홈페이지 예약 내용을 확인한 후 예약 승인합니다.
• 홈페이지에 예약 후, 시료를 전달해주시고 택배발송시에는 홈페이지에 예약한 ID의 성명을 기입하시어 보내주세요(개인정보보호법으로 인해 운송장으로 성명, 연락처 확인 불가함).

• 서비스 의뢰만 받는 기기입니다.
• XPS 분석 절차 : 서비스 의뢰 예약 -> 시료 도착 -> 예약 승인 -> 시료 도착 순서대로 실험진행-> 데이터 발송 -> 실험완료 -> 결제
• 분석의뢰신청서 파일을 업로드 하실 필요없이 '추가요청사항' 에 간단한 시료 정보 및 측정 목적, 측정 원소를 기입해주시기 바랍니다.
• 참조할 자료가 있는 경우, 첨부파일에 업로드 해주세요.
• ** 유독 물질이거나 특이 사항 및 주의점이 있을 경우, 유의사항에 꼭 기입해주세요.
• 꼭 홈페이지에 예약하신 후, 시료를 전달해주시고 택배 발송시에는 홈페이지에 예약한 ID의 성명을 기입하시어 발송해주세요.
• 시료가 도착하면, 홈페이지 예약 내용을 확인한 후 예약 승인 및 측정 진행합니다.

그 외 더 궁금하신 것이 있으시면 문의주세요.

XPS 담당자 : 서정혜 (jhseo624@yonsei.ac.kr, 02-2123-6978)