연세대학교 공동기기원 - Yonsei University

• 낮은 가속전압에서 높은 probe current
• 높은 beam 안정도
• 넓은 시료 예비 교환실: Airlock Chamber
• 간단한 시료교환: One Action Mechanism

• 연세대 공동기기원에서 CP 전처리를 예약한 후 해당 샘플로 SEM 분석하는 경우, 추가요청사항에 CP 예약 날짜 및 개수 반드시 기입 바랍니다. 

• 분석의뢰 가능 시간 안내 (월화/ 수목금 담당자가 다릅니다. 참고바랍니다.)
• 월요일, 화요일 : 13시 -17시
• 수요일, 목요일, 금요일: 9시 30분 11시 30분, 13시 - 17시 

[기기구성]

• Performance
• Resolution 1.2 nm guaranteed at 30 kV or better
• 3.0 nm guaranteed at 1kV or better
• 3.0 nm guaranteed at 15kV or better(PC 5nA, WD 10mm)
• Magnification: 10(WD 40mm) to 1,000,000X
• Image modes: SEI, BEI
• Accelerating voltage: 0.5 to 30 kV or wider
• Probe current: 1 x 10-12 to 2 x 10-7 A
• Electron Gun Type
• Schottky type field emission gun
• Specimen stage
• Type: Fully eucentric goniometer Stage
• Movements: Computer controlled 5-axis motor drive stage
• X direction: 70mm
• Y direction: 50mm
• Z direction: 3 to 41 mm
• Tilt: -5˚ to + 70˚
• Rotation: 360 deg endless (Motor driven)
• Specimen exchange: Airlock type

[EDS(Energy Dispersive X-ray Spectrometer)]

• Be보다 원자 번호가 큰 원소들을 동시에 빠르게 정성분석 가능.
• 낮은 전류의 전자빔으로도 분석이 가능하여 시료에 damage를 줄일 수 있고, 전자 프로브의 크기도 수 나노미터(nm)로 줄일 수 있어서 보다 작은 시편 분석 가능.

• 나노구조의 소재 및 소자 구조 분석과 이미징
• 고해상도를 요구하는 재료의 상관찰, 화학조성 분석
• 나노바이오 및 박막재료 등 국부 영역의 상관찰

• 액체 물성, 자성 물질 제한
• sample 건조 상태 필수

 [패널티 적용]

• 장비 사용예약시간 이후로도 예약 없이 사용을 계속하는 경우, 패널티를 적용하여 사용에 제한
• 본인 사용또는 서비스 의뢰로 장비 사용 예약 후, 예약일로부터 3일 이내에 취소하는경우 장비 사용금액의 100%를 지불
• 기기 사용료미납 시 기기 사용 제한
• 30분만 예약 시 최대 시료 2개

홈페이지 예약시 날짜, 시간 꼭 !!! 확인해보시고 예약해주시기바랍니다.

취소 혹은 예약 시간에 오지 않았을 시, 패널티 적용 관련으로 메일 또는 전화로 알려드리지 않습니다.