연세대학교 공동기기원 - Yonsei University
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장비 상세정보 테이블
국제캠퍼스_ FIB - FE-SEM (JIB-4601F)
장비분야
표면분석
한글기기명
국제캠퍼스_ FIB - FE-SEM
영문기기명
Focused Ion Beam(FIB)
모델명
JIB-4601F
제조사
JEOL
사용구분
직접사용
설치장소
국제캠퍼스 : 국제캠퍼스 자유관B 106-3호
담당자
최기쁨 / 02-2123-6973 / choigb@yonsei.ac.kr
소개
사양
활용분야
시료준비
사용요금
유의사항
Optimum-geometry specimen chamber for all functions of FIB milling, SEM imaging
High-accuracy thin-film preparation achieved by combination with high-resolution SEM
Fast wide-area milling with large FIB ion-beam current up to 60 nA
Installation of up to 2 gas guns(C,W) for protective-film creation and wiring modification
Real-time monitoring of the progress of FIB milling observed by high-resolution SEM
High-speed analysis with large probe current up to 200 nA by a robust thermal FEG
In-situ TEM sample preparation by nanomanipulator
Ion Source : Ga liquid metal source
Electron Gun : In-lens Schuttky field emission gun
FIB Acceleration Voltage : 1~30kV
SEM Acceleration Voltage : 0.2~30kV
FIB Resolution : 5nm (at 30kV)
SEM Resolution : 1.2nm (at 30kV)
FIB Magnification : 100~300,000x
SEM Magnification : 50~1,000,000x
FIB Beam Current : 60nA
SEM Beam Current : 200nA
나노구조의 소재 및 소자 구조 분석과 이미징
고해상도를 요구하는 재료의 상관찰, 화학조성 분석
나노바이오 및 박막재료 등 국부 영역의 상관찰
Out-gas 시료 분석 불가능.
건조 필수. (SEM 내부 chamber가 진공상태)
자성이 있으면 분석 불가능.
액상 분석 불가능.
점성이 있으면 분석 불가능.
장비에 대한 요금 정보를 보여주는 테이블
구분
실험/옵션명
적용일
기준
교내교수
교내학생
교외교수
교외학생
업체(연구소)
실험 (직접사용)
FE-SEM
2022-10-26
60분
45,000원
45,000원
45,000원
45,000원
45,000원
옵션
[교내][EDS_Point](point당)
2022-10-26
1개
5,000원
5,000원
5,000원
5,000원
5,000원
옵션
Pt코팅
2022-10-26
1개
10,000원
10,000원
10,000원
10,000원
10,000원
[직접사용]
반드시 사용자 본인 이름으로 예약.
직접사용자만 예약 가능.
장비 사용 시 반드시 승인을 받은 후 사용.
SEM으로만 사용가능.
** 연세대학교 소속 중 일정 시간의 교육 이수 후 담당자로부터 일정 등급 이상의 유저등급을 부여받은 사용자에 한하여 직접 사용을 허가함.
[패널티 적용]
장비 사용예약시간 이후로도 예약 없이 사용을 계속하는 경우, 패널티를 적용하여 사용 제한.
본인 사용으로 장비 사용 예약 후, 당일 취소하는경우 장비 사용금액의 100%를 지불.
기기 사용중 본인 부주의로 인한 고장발생 시, 수리비 전액 부담.
기기 사용료미납 시 기기 사용 제한.
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