연세대학교 공동기기원 - Yonsei University

• Measurement Head : USB video camera, LED 빛 조절자
• Sensor Head and Stylus Assembly
• Sample-Positioning Stage
• Scan Stage
• Electronics
• Base Feet : Urethane polymer base feet
• Environmental Enclosure
• EMO Box
• Computer System : Windows 7.0;
• Vibration Isolation : Vibration isolation solutions available
• vertical resolution : 0.1 nm @ 6.5 um range, 1.0 nm @ 65.5 um range, 8.0 nm @ 524 um range  

• Measurement Capability :Two-dimensional surface profile measurements;
• Stylus Force : 1 to 15mg
• Stylus Radius : 2um
• Sample X/Y Stage : Manual 100mm(4in.) X/Y, Motorized 150mm(6in.) X/Y
• Scan Length Range : 55mm(2in.)
• Data Points per Scan : 120,000 maximum
• Max. Sample Thickness : 50mm(1.95in.)
• Step Height Repeatability : 4?, 1sigma on steps ≤1um (30 scans using a 12.5um stylus)
• Vertical Range : 1mm (0.039in.)
• Vertical Resolution :  0.1 nm @ 6.5 um range, 1.0 nm @ 65.5 um range, 8.0 nm @ 524 um range  
• Input Power : 100-240VAC, 50-60Hz
• Temperature Range : Operating Range, 20 and 25℃
• Humidity Range : ≤80%, non-condensing

• Step height
• Roughness

Surface profiler는 단차, 거칠기 등을 측정하는 장비입니다.

<시료 크기>

시료 크기에 대한 구체적인 제한은 없으나 장비 내의 sample stage(대략 10cm*10cm)에 올려 장비와 간섭이 없는 크기로 준비하셔야 측정이 가능합니다.

추천드리는 시료의 크기는 (1cm~10cm)*(1cm~10cm)*(~2cm) (가로*세로*높이)입니다.

1cm이하의 시료도 측정은 가능하나 Stylus tip과 시료 간의 위치 파악이 어려워 권장하지 않습니다.

(높이가 2cm 이상일 시 인식이 안 되는 문제가 발생할 수 있음.)

Surface profiler는 직접 사용만 가능합니다.

교육 신청하여 이수 후에 사용이 가능합니다.

교육은 한달에 두번 진행하고 있으니 확인하시고 신청하시길 바랍니다.

<주의사항>

• 기기사용 중 본인 부주의로 인한 고장은 책임지고 보상해야함. (stylus tip파손시 보상)
• 단차 1mm이내의 시료만 측정, 이상일 시 장비 고장의 우려가 있음.
• 당일 예약 취소 불가하며 사용료 100% 패널티로 부과됨.
• 해당 장비는 접촉식 장비임.