연세대학교 공동기기원 - Yonsei University

1. 제작사 : ZEISS
2. 모델명 : crossbeam 540
3. 기기원리 및 특성 : 매우 가늘게 집속한 이온빔을 재료표면에 주사하여 발생한 전자/원자를 검출하여 이미지를 관찰하고 성분을 분석하거나 재료표면을 3차원으로 가공하는 기기

Ion Beam

• Column Type : Capella
• Resolution : 〈 3 ㎚
• Current Range : 1 ㎀ ∼ 100 ㎁
• Tilt Angle : -4 ∼ 70。

SEM Beam

• Column Type : GEMINI Ⅱ
• Gun Type : Schottky Type
• Resolution : 3.0 nm at 200v, 1.8 nm at 1㎸, 0.9 nm at 15㎸, 0.7 kV(STEM mode)
• Current Range : 10 ㎀ ∼ 300 ㎁

Stage

• Type : 6-axis Super eucentric(DC Motors)
• XY-Travel : 100 × 100 ㎜
• Tilt Range : -4 ∼ 70。
• Tilt Accuracy : 0.5。

• TEM lamella 시료 제작 (<100nm) 
• Cross milling -내부 구조 관찰 및 평가
• 단면 및 표면 성분분석(EDS)
• 회로수정 (etching, deposition) 
• 3D 이미지 촬영

• 분석시료 : 고체 시료( 파우더 시료는 시험자와 협의 필요)
• 측정불가시료 : 액체, 젤 타입 시료, Out-gas 시료
• 시료량 : SEM분석이 가능한 정도의 양이면 충분합니다.
• 사이즈 :  1cm(가로)X1cm(세로) 이하/ 0.5mm(높이) 이하 → 샘플 사이즈는 작을 수록 좋습니다. 

• 서비스 의뢰만 가능한 장비입니다.
• 담당자와 전화로 먼저 스케쥴 확인 하신 뒤 예약 바랍니다.
• 예약 시 상세한 시료 정보와 TEM 분석일을 기입해 주시기 바랍니다.
• TEM lamella제작 시 기본으로 GEL BOX에 담아 제공되오니 보관용 케이스가 있으신 분은 따로 지참하시기 바랍니다.
• 시료 보관기간은 최대 1주일이며 기간이 지나면 폐기됩니다.  분석 후 시료 회수를 원하시는 경우 미리 샘플 반환 요청해 주시기 바랍니다.