연세대학교 공동기기원 - Yonsei University
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장비 상세정보 테이블
FE-SEM (JSM-IT-500HR) (IT-500HR)
장비분야
표면분석
한글기기명
FE-SEM (JSM-IT-500HR)
영문기기명
FE-SEM (IT-500HR)
모델명
IT-500HR
제조사
JEOL
사용구분
직접사용, 분석의뢰(시간)
설치장소
신촌캠퍼스 : 첨단과학기술연구관 B117호
담당자
이승재 / 02-2123-6971 / seungjaelee@yonsei.ac.kr
소개
사양
활용분야
시료준비
사용요금
유의사항
낮은 가속전압에서 높은 probe current
높은 beam 안정도
넓은 시료 예비 교환실: Airlock Chamber
간단한 시료교환: One Action Mechanism
[기기구성]
Performance
Resolution 1.2 nm guaranteed at 30 kV or better
3.0 nm guaranteed at 1kV or better
3.0 nm guaranteed at 15kV or better(PC 5nA, WD 10mm)
Magnification: 10(WD 40mm) to 1,000,000X
Image modes: SEI, BEI
Accelerating voltage: 0.5 to 30 kV or wider
Probe current: 1 x 10-12 to 2 x 10-7 A
Electron Gun Type
Schottky type field emission gun
Specimen stage
Type: Fully eucentric goniometer Stage
Movements: Computer controlled 5-axis motor drive stage
X direction: 70mm
Y direction: 50mm
Z direction: 3 to 41 mm
Tilt: -5˚ to + 70˚
Rotation: 360 deg endless (Motor driven)
Specimen exchange: Airlock type
[EDS(Energy Dispersive X-ray Spectrometer)]
Be보다 원자 번호가 큰 원소들을 동시에 빠르게 정성분석 가능.
낮은 전류의 전자빔으로도 분석이 가능하여 시료에 damage를 줄일 수 있고, 전자 프로브 의 크기도 수 나노미터(nm)로 줄일 수 있어서 보다 작은 시편 분석 가능.
나노구조의 소재 및 소자 구조 분석과 이미징
고해상도를 요구하는 재료의 상관찰, 화학조성 분석
나노바이오 및 박막재료 등 국부 영역의 상관찰
** 액체 시료, 자성 물질 제한
장비에 대한 요금 정보를 보여주는 테이블
구분
실험/옵션명
적용일
기준
교내교수
교내학생
교외교수
교외학생
업체(연구소)
실험 (분석의뢰(시간))
FE-SEM(IT-500HR)_서비스_교육 + test
2023-05-01
30분
30,000원
30,000원
40,000원
40,000원
40,000원
실험 (직접사용)
FE-SEM(IT-500HR)_직접사용
2023-05-01
30분
20,000원
20,000원
25,000원
20,000원
25,000원
옵션
EDS분석(시료당)
2022-10-26
1개
5,000원
5,000원
5,000원
5,000원
5,000원
옵션
Pt 코팅(횟수)
2022-10-26
1회
10,000원
10,000원
10,000원
10,000원
10,000원
[유저사용]
반드시 사용자 본인 이름으로 예약
User가 아니신 분은 예약 불가
최소 30분 최대 3시간까지 30분 단위 예약
[패널티 적용]
장비 사용예약시간 이후로도 예약 없이 사용을 계속하는 경우, 패널티를 적용하여 사용에 제한
본인 사용또는 서비스 의뢰로 장비 사용 예약 후, 예약일로부터 3일 이내에 취소하는경우 장비 사용금액의 100%를 지불
기기 사용중 본인 부주의로 인한 고장발생 시, 수리비 전액 부담
기기 사용료미납 시 기기 사용 제한
반드시 사용자 본인 이름으로 예약
User가 아니신 분은 예약 불가
최소 30분 최대 3시간까지 30분 단위 예약
홈페이지 예약시 날짜, 시간 꼭 !!! 확인해보시고 예약해주시기바랍니다.
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