연세대학교 공동기기원 - Yonsei University

• 초밀도 공간 분해능(GB 모드)
• R-fiter 이차전자 선택, 후방산란전자 조절
• Low angle BE 매우 낮은 에너지에서 전자 검출
• 고출력 광학모드
• EDS (Energy Dispersive Spectrometry)
  - X-ray를 이용한 성분의 정성/정량분석

• 직접 사용 전용 장비이므로, 분석의뢰는 JSM-7800F 혹은 JSM-IT800SHL 장비로 예약 바랍니다.

• 교육 문의 : 안유진 (badakajok@yonsei.ac.kr)

Performance

1. Resolution
   • 0.8nm (15 kV)
   • 1.0 nm (1 kV GB mode)
   • 3.0 nm (15 kV, PC 5 nA, WD 8 mm)
2. Magnification
   • Direct x25 to x1,000,000
   • Display x75 to 3,000,000
3. Accelerating voltage : 0.01 kV to 30 kV
4. Probe current : A few pA to ≥ 200 nA

Electron Gun

1. Type : In-lens Schottky FE-electron gun)
2. Lens system : Condenser lens (CL)
3. Aperture-angle control lens (ACL)
4. Semi-in lens objective lens (OL)
5. Electron detector system
   • Upper detector
   • r-filter, Built-in, Lower detector

Specimen stage

1. Type : Fully eucentric goniometer Stage
2. Movements
   • 5-axis motor drive stage
   • X direction : 70 mm
   • Y direction : 50 mm
   • Z direction : 1 to 40 mm
   • Tilt : -5˚ to + 70˚
   • Rotation: 360 ˚

• 나노구조의 소재 및 소자 구조 분석과 이미징
• 고해상도를 요구하는 재료의 상관찰, 화학조성 분석
• 나노바이오 및 박막재료 등 국부 영역의 상관찰

자성 샘플 측정 불가, 시료 크기 최대 10mm이하이며 수분, 용매 및 기타 기화될 수 있는 물질을 제거하여 주시기 바랍니다.

[유저사용]

• 반드시 사용자 본인 이름으로 예약
• User가 아니신 분은 예약 불가
• 최소 30분 최대 3시간까지 30분 단위 예약

[서비스 의뢰]

• 예약일로부터 3일 이내에 취소하는 경우, 장비 사용금액의 100%를 지불.
• 홈페이지 예약시 날짜, 시간 꼭 확인해 주세요. (※ 메일 또는 전화로 알려드리지 않습니다. )
• 직접사용과 동시에 운영 중이므로, 예약 하고 싶은 시간에 직접사용 예약이 되어 있으면 분석의뢰 예약이 불가합니다.

※패널티 적용※

• 장비 사용예약시간 이후로도 예약 없이 사용을 계속하는 경우, 패널티를 적용하여 사용에 제한
• 본인 사용또는 서비스 의뢰로 장비 사용 예약 후, 예약일로부터 3일 이내에 취소하는경우 장비 사용금액의 100%를 지불
• 기기 사용중 본인 부주의로 인한 고장발생 시, 수리비 전액 부담
• 기기 사용료미납 시 기기 사용 제한