연세대학교 공동기기원 - Yonsei University

[기기 특성]

• 낮은 가속전압에서 높은 probe current
• 높은 beam 안정도
• 넓은 시료 예비교환실 : Airlock Chamber
• 간단한 시료교환 : One Action Mechanism
• Network를 이용한 조작 가능

Performance

1. Resolution
   • 1.5 nm (30 kV)
   • 4.0 nm (1 kV)
   • 3.0 nm (15 kV, PC 1 nA)
   • 18 nm(15 kV, BED)
2. Magnification
   • Direct ×5 to ×600,000
   • Displayed ×14 to ×1,679,449
3. Accelerating voltage : voltage 0.5 kV to 30 kV
4. Probe current : 1 pA to 20 nA

Electron Gun

1. type : High brightness electron gun

Specimen stage

1. Type : Fully eucentric goniometer Stage
2. LV pressure adjustment : 10 to 150 Pa
3. Aperture angle control lens : Built-in
4. Objective lens aperture : 4-stage, with XY fine adjustment function
5. Movements
   • 5-axis motor drive stage
   • X direction : 125 mm
   • Y direction : 100 mm
   • Z direction : 80 mm
   • Tilt : -10˚ to + 90˚
   • Rotation: 360 ˚
6. Specimen exchange : Airlock type

• 나노구조의 소재 및 소자 구조 분석과 이미징
• 고해상도를 요구하는 재료의 상관찰, 화학조성 분석
• 나노바이오 및 박막재료 등 국부 영역의 상관찰

1. Out-gas 시료 분석 불가능.
2. 건조 필수. (SEM 내부 chamber가 진공상태)
3. 자성이 있으면 분석 불가능.
4. 액상 분석 불가능.
5. 점성이 있으면 분석 불가능.

[직접사용]

• 반드시 사용자 본인 이름으로 예약
• 최소 1시간부터 8시간 까지 1시간 단위로 예약
• 장비 사용 시 반드시 승인을 받은 후 사용!!!!

[패널티 적용]

• 장비 사용예약시간 이후로도 예약 없이 사용을 계속하는 경우, 패널티를 적용하여 사용에 제한
• 본인 사용으로 장비 사용 예약 후, 예약일 기준 3일 이전에 취소하는경우 장비 사용금액의 100%를 지불
• 기기 사용중 본인 부주의로 인한 고장발생 시, 수리비 전액 부담
• 기기 사용료미납 시 기기 사용 제한