연세대학교 공동기기원 - Yonsei University

• XPS는 고체 시료의 표면에 특성 X-선을 입사하여 방출되는 광전자의 운동에너지를 측정함으로써 시료 표면층에 존재하는 원소의 종류와  검출된 원소의 조성비 및 화학적 결합상태를 알 수 있음.
• UPS는 고체 시료의 표면에 자외선을 입사하여 방출되는 광전자의 운동에너지를 측정함으로써 시료 표면층 valence band 특성을 알 수 있음.
• XPS 및 UPS의 각 spectrum에 대한 범위 지정이 가능함.
• Ar cluster ion을 이용한 에칭은 Ar ion에 비해 에칭 속도가 느리지만 Ar 이온에 의한 원소 간 결합의 파괴를 줄일 수 있음.   

1. XPS

1) X-ray source type : Al/Ag dual anode

2) Maximum X-ray output : 600 W, 30 mA

3) XPS range : < 1200 eV (with Al anode), < 2900 eV (Ag anode)

4) XPS resolution : < 0.48 eV with PE10

2. UPS

1) UV source type : He I UV source

2) Maximum UV output : 17.5 W, 37 mA

3) UPS range : < 21 eV

4) UPS resolution : < 120 meV

5) Sample bias : 0 to - 9 V

3. Ar gas cluster ion source (Ar GCIS)

1) Ar+ and Ar1000+ ion

2) Energy : 0.5 or 5 keV (for Ar+), 10 keV (Ar1000+)

3) Maximum etch rate : 7.92 nm/min (Ta2O3 with Ar+, 5 keV)

비파괴적 표면 분석법으로 코팅, 도금과 같은 표면처리분야, 반도체분야, 촉매분야 등 다양한 고체시료 표면 물성 분석에 활용

• 초고진공 분석 장비이므로 고체시료를 완전 건조하여 outgassing이 없도록 준비 부탁드립니다.
• 박막 시료 사이즈는 (2~10 mm) x (2~10 mm) x (10 nm~4 mm) (가로 x 세로 x 높이) 정도로 준비해주세요. (UPS 시료는 전도성이 높은 기판을 사용해주세요.)
  * 더 큰 사이즈도 측정 가능하지만, 시료 홀더를 개조해야해서 소요시간이 걸림.
• 파우더 시료는 표면 분석시 : 지름 5 mm 정도의 실험용 스푼으로 1스푼 이상, 표면클리닝 or depth or AR-XPS분석시 : Pellet으로 제작해서 주시거나 pellet제작을 위해 3스푼 이상 완전 건조하여 준비해주세요.
• 시료가 도착하면, 홈페이지 예약 내용을 확인한 후 예약 승인합니다.
• 홈페이지에 예약 후, 시료를 전달해주시고 택배발송시에는 홈페이지에 예약한 ID의 성명을 기입하시어 보내주세요(개인정보보호법으로 인해 운송장으로 성명, 연락처 확인 불가함).

• 서비스 의뢰만 받는 기기입니다.
• XPS 분석 절차 : 서비스 의뢰 예약 ⭢ 시료 도착 ⭢ 예약 승인 ⭢ 시료 도착 순서대로 실험진행 ⭢ 데이터 발송 ⭢ 실험완료 ⭢ 결제
• 분석의뢰신청서 파일을 업로드 하실 필요없이 '추가요청사항' 에 간단한 시료 정보 및 측정 목적, 측정 원소를 기입해주시기 바랍니다.
• 참조할 자료가 있는 경우, 첨부파일에 업로드 해주세요.
• ** 유독 물질이거나 특이 사항 및 주의점이 있을 경우, 유의사항에 꼭 기입해주세요.
• 꼭 홈페이지에 예약하신 후, 시료를 전달해주시고 택배 발송시에는 홈페이지에 예약한 ID의 성명을 기입하시어 발송해주세요.
• 사이트 상의 신청자와 실제 의뢰자가 다를 경우 비고란에 실제 의뢰자의 성명, 연락처 등을 기입해주세요.
• 시료가 도착하면, 홈페이지 예약 내용을 확인한 후 예약 승인 및 측정 진행합니다. 
• ** 전도성이 좋지 않은 시료는 UPS 측정이 적절히 일어나지 않을 수 있습니다. 파우더 등에 대한 측정을 진행해드릴 순 있지만 결과를 보장할 수 없으니 참고 바랍니다.

그 외 더 궁금하신 것이 있으시면 문의주세요.

XPS 담당자 : 최영진 (02-2123-7441, cyjhe123@yonsei.ac.kr)