연세대학교 공동기기원 - Yonsei University

연세대학교 신촌캠퍼스에서 운영 중인 Cs-TEM(NEOARM)은 가속된 전자Beam을 시료에 투과/주사하여 시료의 미세구조 분석 장비 입니다.

- 높은 가속전압으로 가속된 전자 Beam을 시료에 투과시켜 시료 내부에서 발생하는 다양한 물질 정보와 신호를 검출하여 시편의 결정 구조와 원자 배열 분석

2) 주사투과전자현미경(STEM)

- 가속된 전자 Beam을 Probe형태로 시료에 주사 (Scanning)시켜 투과전자현미경(TEM)의 기능과함께 그 활용 범위를 넓혀가며 물질의 미세구조 분석

3) 수차보정형 주사전자현미경(Cs-STEM)

- 구면수차를 보정 할 수 있는 수차보정장치(Cs-Corrector)와 STEM/TEM 기능을 기본 장착

- 분석기기인 Dual EDS system로 경원소 분석을 위한 전용 검출기를 활용하여 Carbon, 고분자, 반도체 물질은 물론 신물질의 미세영역 화학조성 등을 분석

Resolution

• TEM information limit : 100 pm (200 kV)
• STEM HAADF Image :70 pm (200 kV)

Electron Gun : Cold field emission gun (Cold FEG): standard

• Accelerating voltage : 200 kV

Aberration corrector

• NEO ASCOR HOAC(Higher order aberration corrector)
• NEO JEOL COSMO™ Auto tuning system Ad-hock tune (SIAM) built-in

EDS(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy)

• Dual SDD EDS system

3D Tomography

• Tilt Angle: Up to 35 degree / Down to 35 degree

1. Acquisition of ultra high resolution image for Spherical aberration Correction
   • Spatial resolution analysis
   • Crystal structure analysis
   • Tiny area analysis, Defect analysis etc.
2. Element analysis
   • Energy Dispersive X-ray Spectrometry (EDS)
3. 3D tomography
   • 3D imaging of sample by tilting

1. 서비스 의뢰

- 30분 단위 예약 가능

- 원자 단위 분석 시는 시료 당 1시간 이상 소요

2. 서비스의뢰 신청방법

- 공동기기원 홈페이지 에서 서비스 의뢰 예약

[필수 사전 일정 조율 시료 대상]_사전에 반드시 연락 요청!

* 원자 이미지/성분분석(ATOMIC IMG/MAPPING)

* Tomography 

* 저전압 분석(80kV)

2. 서비스 의뢰 내용 송부

 - 서비스 의뢰 내용을 TEM 담당자(srlee0923@yonsei.ac.kr) 메일로 송부  

(0) 대면서비스(시료 발송)/비대면서비스(직접 방문)

(1) (희망) 예약 날짜 및 시간 / 예약 성함

(2) 실제 의뢰자 연락처

(3) 시료 종류

(4) 관찰 조건

(5) 분석 방법(TEM/STEM IMAGE, EDS, ATOMIC IMG/IMAGE/EDS,Tomography)

(4) 참고자료(reference image, 이전 분석 결과 등)

 * 예약시,  분석의뢰 요청사항을 동일한 내용 기재 

3. 시료 배송 주소 :

- 서울시 서대문구 연세로50 연세대학교 첨단과학기술연구관 지하1층 B111호 이새롭
- 신청서를 시료와 함께 배송(예약 후 신청서 예약 홈페이지에서 프린트 가능)

4. 시료 전처리(Grid 제공 등)가 필요한 경우, 사전에 반드시 담당자에게 연락

5. 예약 후 분석일 이전 3일 이내로 취소할 경우, 사용 금액의 100%가 패널티 부과